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Produktdetails:
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Produktname: | 2 Zoll freistehende N-GaNsubstrate | Maße: | 50,0 ±0.3mm |
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Stärke: | 400 ± 30μm | Orientierungs-Ebene: | (1 - 100) ±0.1˚, ± 12,5 1mm |
TTV: | ≤ 10µm | Bogen: | ≤ 20μm |
Hervorheben: | GaN-Einkristallsubstrat,Gan-Epi-Wafer 400 um,UKAS-Einkristallsubstrat |
Si-dotiertes 2-Zoll-C-Flächen-Si-dotiertes freistehendes GaN-Einkristallsubstrat vom n-Typ Widerstand < 0,05 Ω·cm Leistungsbauelement/Laserwafer
Überblick
Eines der Schlüsselverfahren zur Herstellung dieser Bauelemente ist eine leichte n-Typ-Dotierung von GaN mit einer geringen Rest-Fremdstoffkonzentration in der Größenordnung von 1015 cm-3 oder weniger.Trotz intensiver Forschungsbemühungen blieb die Leistung von GaN-basierten Leistungsbauelementen aufgrund eines unausgereiften epitaxialen Wachstumsprozesses unzureichend.
Freistehende 2-Zoll-N-GaN-Substrate | ||||||
Produktionsniveau (P) |
ReSOhrH(R) |
Schnuller(D) |
Notiz: (1) 5 Punkte: Die Fehlschnittwinkel von 5 Positionen betragen 0,55 ± 0,15Ö (2) 3 Punkte: Die Fehlschnittwinkel der Positionen (2, 4, 5) betragen 0,55 ± 0,15Ö (3) Nutzfläche: Ausschluss von Rand- und Makrodefekten (Löchern) |
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P+ | P | P- | ||||
Artikel | GaN-FS-CN-C50-SSP | |||||
Maße | 50,0 ±0,3 mm | |||||
Dicke | 400 ± 30 μm | |||||
Orientierung flach | (1-100) ±0,1Ö,12,5 ± 1 mm | |||||
TTV | ≤ 15 μm | |||||
BOGEN | ≤ 20 μm | |||||
Widerstand (300 K) | ≤ 0,02 Ω·cm für N-Typ (Si-dotiert) | |||||
Ga Gesicht Oberflächenrauheit | ≤ 0,3 nm (poliert und Oberflächenbehandlung für Epitaxie) | |||||
Rauheit der N-Oberfläche | 0,5 ~1,5 μm (einseitig poliert) | |||||
C-Ebene (0001) Abweichungswinkel zur M-Achse (Fehlschnittwinkel) |
0,55 ± 0,1Ö (5 Punkte) |
0,55 ± 0,15Ö (5 Punkte) |
0,55 ± 0,15Ö (3 Punkte) |
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Threading-Versetzungsdichte | ≤ 7,5 x 105cm-2 | ≤ 3 x 106cm-2 | ||||
Anzahl und maximale Größe der Löcher in Ф47 mm in der Mitte | 0 | ≤ 3 bei 1000 μm | ≤ 12 bei 1500 μm | ≤ 20 bei 3000 μm | ||
Nutzfläche | > 90 % | >80% | >70% | |||
Paket | Verpackt in einem Reinraum in einem einzelnen Waferbehälter |
Über uns
Wir sind spezialisiert auf die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien zu Wafern, Substraten und kundenspezifischen optischen Glasteilen. Komponenten, die in der Elektronik, Optik, Optoelektronik und vielen anderen Bereichen weit verbreitet sind.Wir haben auch eng mit vielen inländischen und ausländischen Universitäten, Forschungseinrichtungen und Unternehmen zusammengearbeitet und bieten maßgeschneiderte Produkte und Dienstleistungen für ihre F&E-Projekte an.Es ist unsere Vision, durch unseren guten Ruf eine gute Beziehung der Zusammenarbeit mit allen unseren Kunden aufrechtzuerhalten.
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