150mm schnelles thermisches Vergütungssystem mit drei Satz-Prozessgasen

RTP-150RL schnelles thermisches Vergütungssystem mit drei Satz-Prozessgasen

RTP-150RL:
In der Schutzatmosphäre des manuellen schnellen ist die Vergütung Tischplattensystems, mit sichtbarem hellem Heizungseinzelstückinfrarotwafer oder -probe, kurze Bearbeitungszeit, die Regelgenauigkeit der hohen Temperatur, passend für 2-6-Zoll- Wafer. Sein einzigartiger Hohlraumentwurf, moderne Temperaturüberwachungstechnologie und ein einzigartiges Kontrollsystem der Software RL900 über herkömmlichen Vergütungssystemen des Diffusionsofens stellt die ausgezeichnete thermische Einheitlichkeit sicher, die mit anderen RTP-Systemen verglichen wird.

Produkteigenschaften:

1. Infrarothalogenlampen-Rohrheizung, kühlend unter Verwendung der Luftkühlung ab.

2. Rohrmacht PID-Temperaturüberwachung, kann die Temperaturheizung genau steuern, um gute Reproduzierbarkeits- und Temperatureinheitlichkeit sicherzustellen.

3. Parallele Lufteintrittmethode wird angenommen, und der Einlass des Gases wird auf die Oblatenoberfläche eingestellt, um kalte Punkte während des Vergütungsprozesses zu vermeiden und gute Temperatureinheitlichkeit des Produktes sicherzustellen.

4. Luft und Vakuumbehandlungsmethoden können, vor der Ansaugluftgas-Reinigungsbehandlung vorgewählt werden.

5. Standard mit drei Sätzen der Prozessgase.

6. Die maximale Größe einer messbaren einzelnen Waferprobe ist 6 Zoll (150mm).

7. Die dreifachen Sicherheitsmaßnahmen des Ofensicherheitstemperatur-Öffnungsschutzes, des öffnenden Berechtigungsschutzes des Temperaturbegrenzers und des Ausrüstungsnotaussicherheitsschutzes werden angenommen, um die Sicherheit von Instrumenten sicherzustellen.